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高純度氧化鋁陶瓷機(jī)械手臂
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產(chǎn)品名稱

高純度氧化鋁陶瓷機(jī)械手臂

加工精度 0.005mm
是否定制 按圖定制
粗糙度 Ra0.3
材料成分 99.7-99.8氧化鋁陶瓷
我要定制 按客戶需求接受定制;歡迎來(lái)廠參觀!
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高純度氧化鋁陶瓷機(jī)械手臂

高純度氧化鋁陶瓷機(jī)械手臂被用在半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)過(guò)程中,主要是用來(lái)抓取晶圓,通常采用高純的氧化鋁制作,也可以使用碳化硅陶瓷制作,它也被稱為“末端執(zhí)行器”(半導(dǎo)體陶瓷)。高純度氧化鋁陶瓷機(jī)械手臂是晶圓轉(zhuǎn)運(yùn)過(guò)程中必須用到的一款產(chǎn)品,對(duì)材料的要求和加工精度的要求都非常高,鈞杰陶瓷擁憑借專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)和專用設(shè)備,采用高純氧化鋁陶瓷材料,經(jīng)過(guò)多道工序精密加工而成。目前我們有能力生產(chǎn)2-12寸各型號(hào)陶瓷機(jī)械手臂,以下是我司生產(chǎn)的幾款產(chǎn)品的展示。

陶瓷機(jī)械手臂陶瓷機(jī)械手臂陶瓷機(jī)械手臂氧化鋁陶瓷機(jī)械手臂

晶圓加工中對(duì)“氧化鋁陶瓷機(jī)械手臂”的需求以及它必須具備的特性
氧化鋁陶瓷機(jī)械手臂用于在不同的位置之間轉(zhuǎn)運(yùn)移動(dòng)半導(dǎo)體晶片。相當(dāng)于是機(jī)器人的手臂,這種工作性質(zhì) 要求它具有熱穩(wěn)定性和尺寸穩(wěn)定性,持久性的同時(shí)不會(huì)被顆?;蚧瘜W(xué)污染物污染腔室。


使用氧化鋁陶瓷而不是鋁金屬有哪些主要優(yōu)點(diǎn)?
高純度的氧化鋁陶瓷因其剛度和高強(qiáng)度而被選擇制作成機(jī)械手臂,這意味著機(jī)器人手臂比鋁更快地固定到其最終位置。此外,機(jī)器人本身的運(yùn)動(dòng)速度更快,優(yōu)化了定位精度并提高了效率。

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