在陶瓷表面通過技術手段附著上一層特殊涂層后,使半導體陶瓷的性能發生變化,目前這種工藝在半導體制品生產過程中已經非常廣泛。例如用于顆粒污染控制的紋理陶瓷涂層。對于靜電夾盤,噴涂氧化鋁涂層用作電極上的絕緣層,這些電極已嵌入單片氧化鋁夾盤中。覆蓋在電極上的絕
Tag : 半導體陶瓷,半導體陶瓷涂層
在陶瓷表面通過技術手段附著上一層特殊涂層后,使半導體陶瓷的性能發生變化,目前這種工藝在半導體制品生產過程中已經非常廣泛。例如用于顆粒污染控制的紋理陶瓷涂層。對于靜電夾盤,噴涂氧化鋁涂層用作電極上的絕緣層,這些電極已嵌入單片氧化鋁夾盤中。覆蓋在電極上的絕
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