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氮化鋁陶瓷結構件
本氮化鋁陶瓷結構件為多個杯裝體連接而成，底部有臺階。氮化鋁陶瓷結構件在加工過程中比較容易出現崩邊，具體表現為邊沿發白，崩口等現象。對于一些品控需求較高的產品，我們可以在20-30倍放大鏡下觀察，依然觀察不到邊沿崩缺的現象。
6寸AlN氮化鋁晶圓托盤
AlN氮化鋁陶瓷結構件
12英寸氮化鋁晶圓加熱盤
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